Catalog
| LDR | 01252namka2200289 c 4500 | ||
| 001 | 0093651148▲ | ||
| 005 | 20180519123311▲ | ||
| 007 | ta▲ | ||
| 008 | 160726s2016 bnka m FC 000c eng ▲ | ||
| 035 | ▼a(DCOLL221016)000000115798▲ | ||
| 040 | ▼a221016▼c221016▲ | ||
| 041 | 0 | ▼aeng▼bkor▲ | |
| 082 | 0 | 4 | ▼a621.38152▼223▲ |
| 090 | ▼a621.38152▼b이91ㅍ▲ | ||
| 100 | 1 | ▼a이하진▲ | |
| 245 | 1 | 0 | ▼aPlasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Tantalum Nitride Thin Films using Tertiary-Amylimido-Tris(Dimethylamido)Tantalum and Hydrogen Plasma =▼xTertiary-Amylimido-Tris(dimethylamido) Tantalum와 수소플라즈마를 이용한 PE-ALD 질화탄탈륨 박막의 증착 /▼dLee Ha Jin▲ |
| 260 | ▼a부산 :▼b부산대학교 대학원,▼c2016▲ | ||
| 300 | ▼a60 장 :▼b삽화 ;▼c26 cm▲ | ||
| 500 | ▼a지도교수: Kwon Se Hun▲ | ||
| 502 | 0 | ▼a학위논문(석사)--▼b부산대학교 대학원 :▼c재료공학과,▼d2016. 8.▲ | |
| 504 | ▼a참고문헌: 장 53-57▲ | ||
| 520 | 3 | ▼a국문초록: 장 58-59▲ | |
| 538 | ▼aRequires PDF file reader(application/pdf)▲ | ||
| 653 | ▼aTan 박막▼a플라즈마 원자층 증착법▼aPEALD▲ | ||
| 856 | 4 | ▼adcollection.pusan.ac.kr▼uhttp://dcollection.pusan.ac.kr/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000115798▲ | |
| 900 | 1 | 1 | ▼aLee, Ha Jin▲ |
| 999 | ▼c손은주▲ |
Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Tantalum Nitride Thin Films using Tertiary-Amylimido-Tris(Dimethylamido)Tantalum and Hydrogen Plasma =Tertiary-Amylimido-Tris(dimethylamido) Tantalum와 수소플라즈마를 이용한 PE-ALD 질화탄탈륨 박막의 증착
Document Type
Thesis
Title
Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Tantalum Nitride Thin Films using Tertiary-Amylimido-Tris(Dimethylamido)Tantalum and Hydrogen Plasma = Tertiary-Amylimido-Tris(dimethylamido) Tantalum와 수소플라즈마를 이용한 PE-ALD 질화탄탈륨 박막의 증착 / Lee Ha Jin
개인저자
Publication
부산 : 부산대학교 대학원 , 2016
Physical Description
60 장 : 삽화 ; 26 cm
General Note
지도교수: Kwon Se Hun
Dissertation Note
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 재료공학과 , 2016. 8.
Bibliography Note
참고문헌: 장 53-57
Summary Note
국문초록: 장 58-59
System Note
Requires PDF file reader(application/pdf)
Keyword
Call Number
621.38152 이91ㅍ
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