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Α Β Γ Δ Ε Ζ Η Θ Ι Κ Λ Μ  
Ν Ξ Ο Π Ρ Σ Τ Υ Φ Χ Ψ Ω  
α β γ δ ε ζ η θ ι κ λ μ  
ν ξ ο π ρ ς σ τ υ φ χ ψ ω
À Á Â Ã Ä Å Æ Ç È É Ê Ë Ì Í Î Ï
Ð Ñ Ò Ó Ô Õ Ö Ø Ù Ú Û Ü Ý Þ ß  
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А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П
Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я  
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ⅰ ⅱ ⅲ ⅳ ⅴ ⅵ ⅶ ⅷ ⅸ ⅹ Ⅰ Ⅱ Ⅲ Ⅳ Ⅴ Ⅵ Ⅶ Ⅷ Ⅸ Ⅹ
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(예 : 2012 ~ 2018)
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Thesis
PEALD의 하이브리드 공정법을 이용한 ZnO 박막의 비정질 실리콘 박막 태양전지 적용에 대한 연구 =ZnO Thin Films using Hybrid Plasma Step of PEALD for the Application of a-Si Thin Film Solar Cells
이영주
부산 : 부산대학교, 2013
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Exploration of a Peald Platinum Thermal Accelerometer
Kaplan, Kirsten Elana
[S.l.] : Stanford University, 2019
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Thesis
PEALD(Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition)를 이용한 HfO₂ 박막 특성 및 열처리를 통한 박막 특성 개선 연구
이지성
부산 : 부산대학교 대학원, 2025
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Thesis
PEALD법을 이용한 하이브리드 기능성 Ru-AlN 확산방지막에 관한 연구
신유리
부산 : 부산대학교, 2012.
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Thesis
Remote PEALD법으로 증착한 확산방지막 및 산화막 특성에 관한 연구= Character of ZrN diffusion barrier and HfO2 gate diekectric deposited by Remote PEALD method
조승찬
부산: 부산대학교, 2006.
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Thesis
PEALD TiN buffer layer를 이용한 전착된 IrO2 촉매의 산소 발생 특성 연구
박유진
부산 : 부산대학교 대학원, 2021
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Thesis
Titanium Nitride Thin Films using Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for the Metallic Bipolar Plates of Polymer Electrolyte Membrane Fuel Cell =고분자전해질 연료전지의 금속 분리판을 위한 PEALD-TiN 코팅
윤은영
부산 : 부산대학교 대학원, 2016
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Thesis
Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Tantalum Nitride Thin Films using Tertiary-Amylimido-Tris(Dimethylamido)Tantalum and Hydrogen Plasma =Tertiary-Amylimido-Tris(dimethylamido) Tantalum와 수소플라즈마를 이용한 PE-ALD 질화탄탈륨 박막의 증착
이하진
부산 : 부산대학교 대학원, 2016
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Thesis
Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of SnO2 Thin Films Using SnCl4 and O2 Plasma =SnCl4와 O2 플라즈마를 이용한 PEALD법으로 증착된 SnO2 박막 특성에 관한 연구
이동권
부산 : 부산대학교 대학원, 2016
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Thesis
Se diffusion barrier properties of plasma-enhanced atomic layer deposited TiN thin films for CIGS solar cells =플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 Tin 박막의 CIGS 태양전지의 Selenium 확산방지 특성
장승일
부산 : 부산대학교 대학원, 2015
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