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1~20
Conference
Kamei, Yuya; Shiozawa, Takahiro; Kawakami, Shinichiro; Shite, Hideo; Ichinomiya, Hiroshi; Hashimoto, Yusaku; Enomoto, Masashi; Nafus, Kathleen; Sonoda, Akihiko; Demand, Marc; Foubert, Philippe
2018 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM) Semiconductor Manufacturing (ISSM), 2018 International Symposium on. :1-4 Dec, 2018
Academic Journal
Franke, Joern-Holger; Frommhold, Andreas; Dauendorffer, Arnaud; Nafus, Kathleen; Rispens, Gijsbert; Maslow, Mark
Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology. April, 2022, Vol. 21 Issue 2, p023201, 13 p.
Conference
Dauendorffer, Arnaud; Yuya Kamei; Shinichiro Kawakami; Makoto Muramatsu; Nafus, Kathleen; Akihiro Sonoda; Foubert, Philippe
Proceedings of SPIE; 7/29/2019, Vol. 11147, p1-10, 10p
Conference
Seiji Nagahara; Cong Que Dinh; Gosuke Shiraishi; Yuya Kamei; Nafus, Kathleen; Yoshihiro Kondo; Carcasi, Michael; Yukie Minekawa; Hiroyuki Ide; Yuichi Yoshida; Kosuke Yoshihara; Ryo Shimada; Masaru Tomono; Kazuhiro Takeshita; Biesemans, Serge; Hideo Nakashima; De Simone, Danilo; Petersen, John S.; Foubert, Philippe; De Bisschop, Peter
Proceedings of SPIE; 1/23/2019, Vol. 10960, p1-15, 15p
Conference
Cong Que Dinh; Seiji Nagahara; Gousuke Shiraishi; Yukie Minekawa; Yuya Kamei; Carcasi, Michael; Hiroyuki Ide; Yoshihiro Kondo; Yuichi Yoshida; Kosuke Yoshihara; Ryo Shimada; Masaru Tomono; Teruhiko Moriya; Kazuhiro Takeshita; Nafus, Kathleen; Biesemans, Serge; Petersen, John S.; De Simone, Danilo; Foubert, Philippe; De Bisschop, Peter
Proceedings of SPIE; 1/20/2019, Vol. 10957, p109571O-1-109571O-10, 10p
Conference
Yuya Kamei; Shinichiro Kawakami; Masahide Tadokoro; Yusaku Hashimoto; Takeshi Shimoaoki; Masashi Enomoto; Nafus, Kathleen; Akihiro Sonoda; Foubert, Philippe
Proceedings of SPIE; 8/25/2018, Vol. 10809, p1080924-1-1080924-7, 7p
Conference
Dinh, Cong Que; Nagahara, Seiji; Cho, Kayoko; Tomori, Hikari; Kuwahara, Yuhei; Onitsuka, Tomoya; Okada, Soichiro; Kawakami, Shinichiro; Hara, Arisa; Fujimoto, Seiji; Muramatsu, Makoto; Tsuzuki, Reiko; Liu, Xiang; Thiam, Arame; Feurprier, Yannick; Nafus, Kathleen; Carcasi, Michael; Huli, Lior; Kato, Kanzo; Krawicz, Alexandra
Proceedings of SPIE; 7/13/2024, Vol. 12957, p1295705-1295705, 1p
Conference
Roy, Syamashree; Thiam, Arame; Sah, Kaushik; Feurprier, Yannick; Fukui, Nobuyuki; Nafus, Kathleen; Miyaguchi, Kenichi; Van den Heuvel, Dieter; Baskaran, Balakumar; Bekaert, Joost; Cross, Andrew; Dusa, Mircea; Blanco Carballo, Victor M.
Proceedings of SPIE; 7/9/2024, Vol. 12953, p129530-129530, 1p
Conference
Shinji Kobayashi; Soichiro Okada; Satoru Shimura; Nafus, Kathleen; Fonseca, Carlos; Estrella, Joel; Masashi Enomoto
Proceedings of SPIE; 2018, Vol. 10585, p1-11, 11p
Conference
Alagna, Paolo; Conley, Will; Rechtsteiner, Greg; Nafus, Kathleen; Biesemans, Serge; Lorusso, Gian Francesco
Proceedings of SPIE; 1/15/2018, Vol. 10587, p1-11, 11p
EUV resist sensitization and roughness improvement by PSCARTM with in-line UV flood exposure system.
Conference
Seiji Nagahara; Carcasi, Michael; Gosuke Shiraishi; Yuya Kamei; Nafus, Kathleen; Yukie Minekawa; Hiroyuki Ide; Yoshihiro Kondo; Takahiro Shiozawa; Keisuke Yoshida; Masashi Enomoto; Kosuke Yoshihara; Hideo Nakashima; Serge Biesemans; Ryo Shimada; Masaru Tomono; Kazuhiro Takeshita; Teruhiko Moriya; Makoto Hayakawa; Ryo Aizawa
Proceedings of SPIE; 1/14/2018, Vol. 10586, p1-11, 11p
Conference
Yuya Kamei; Takahiro Shiozawa; Shinichiro Kawakami; Hideo Shite; Hiroshi Ichinomiya; Yusaku Hashimoto; Masashi Enomoto; Nafus, Kathleen; Akihiko Sonoda; Demand, Marc; Foubert, Philippe
Proceedings of SPIE; 1/11/2018, Vol. 10583, p1-7, 7p
Conference
Carcasi, Michael; Nagahara, Seiji; Gosuke Shiraishi; Yukie Minekawa; Hiroyuki Ide; Yoshihiro Kondo; Kosuke Yoshihara; Masaru Tomono; Ryo Shimada; Kazuhiro Takeshita; Teruhiko Moriya; Kamei, Yuya; Nafus, Kathleen; Serge Biesemans; Hideo Nakashima; Masafumi Hori; Ken Maruyama; Hisashi Nakagawa; Tomoki Nagai; Satoshi Dei
Proceedings of SPIE; 1/11/2018, Vol. 10583, p1-14, 14p
Academic Journal
Dinh, Cong Que; Nagahara, Seiji; Kuwahara, Yuhei; Dauendorffer, Arnaud; Yoshida, Keisuke; Okada, Soichiro; Onitsuka, Tomoya; Kawakami, Shinichiro; Shimura, Satoru; Muramatsu, Makoto; Yoshihara, Kosuke; Petersen, John S.; De Simone, Danilo; Foubert, Philippe; Vandenberghe, Geert; Huli, Lior; Grzeskowiak, Steven; Krawicz, Alexandra; Bae, Nayoung; Kato, Kanzo; Nafus, Kathleen; Raley, Angelique
Conference
Nagahara, Seiji; Dauendorffer, Arnaud; Thiam, Arame; Liu, Xiang; Kuwahara, Yuhei; Dinh, Cong Que; Okada, Soichiro; Kawakami, Shinichiro; Genjima, Hisashi; Nagamine, Noriaki; Muramatsu, Makoto; Shimura, Satoru; Tsuboi, Atsushi; Nafus, Kathleen; Feurprier, Yannick; Demand, Marc; Ramaneti, Rajesh; Foubert, Philippe; De Simone, Danilo; Vendenberghe, Geert
Proceedings of SPIE; 4/11/2023, Vol. 12498, p124981G-124981G-10, 1p
Conference
Dinh, Cong Que; Nagahara, Seiji; Kuwahara, Yuhei; Dauendorffer, Arnaud; Okada, Soichiro; Fujimoto, Seiji; Kawakami, Shinichiro; Shimura, Satoru; Muramatsu, Makoto; Cho, Kayoko; Liu, Xiang; Nafus, Kathleen; Carcasi, Michael; Agarwal, Ankur; Somervell, Mark; Huli, Lior; Kato, Kanzo; Kocsis, Michael; De Schepper, Peter; Meyers, Stephen
Proceedings of SPIE; 4/11/2023, Vol. 12498, p1249806-1249806, 1p
Conference
Fonseca, Carlos; Somervell, Mark; Scheer, Steven; Printz, Wallace; Nafus, Kathleen; Hatakeyama, Shinichi; Kuwahara, Yuhei; Niwa, Takafumi; Bernard, Sophie; Gronheid, Roel
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72740I-72740I-12, 12p
Conference
Hooge, Josh; Hatakeyama, Shinichi; Nafus, Kathleen; Scheer, Steven; Foubert, Philippe; Cheng, Shaunee; Leray, Philippe
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72741U-72741U-9, 9p
Conference
Rathsack, Benjamin; Nafus, Kathleen; Hatakeyama, Shinichi; Kuwahara, Yuhei; Kitano, Junichi; Gronheid, Roel; Vaglio Pret, Alessandro
Proceedings of SPIE; Nov2009, Issue 1, p727347-727347-11, 11p
Conference
Rathsack, Ben; Hooge, Josh; Scheer, Steven; Nafus, Kathleen; Hatakeyama, Shinichi; Kouichi, Hontake; Kitano, Junichi; Van Den Heuval, Dieter; Leray, Philippe; Hendrickx, Eric; Foubert, Phillipe; Gronheid, Roel
Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p69244W-69244W-11, 11p
Refining the search results
Facets
[AR] Nafus, Kathleen
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