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HFCVD 법으로 증착한 초미세 나노결정질 다이아몬드 박막의 구조적 특성 및 식각특성 연구 =A study of structural properties and etch characteristics of HFCVD-grown ultrananocrystalline diamond film
Document Type
Thesis
Title
HFCVD 법으로 증착한 초미세 나노결정질 다이아몬드 박막의 구조적 특성 및 식각특성 연구 = A study of structural properties and etch characteristics of HFCVD-grown ultrananocrystalline diamond film / 최병수
개인저자
Publication
부산 : 부산대학교 대학원 , 2018
Physical Description
70 장 : 삽화 ; 30 cm
General Note
지도교수: 조현
Dissertation Note
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 나노융합기술학과 , 2018. 2.
Bibliography Note
참고문헌: 장 66-68
Summary Note
국문요약 및 Abstract 수록
System Note
Requires PDF file reader(application/pdf)
Keyword
Call Number
620.5 최44ㅇ
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