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Growth Mechanism of Epitaxial Cu Thin Films Grown by RF-sputtering =RF-sputtering 법으로 Epitaxy 성장된 구리 단결정 박막의 결정 성장 매커니즘 분석 및 nano scale에서의 결정성 분석 연구
Document Type
Thesis
Title
Growth Mechanism of Epitaxial Cu Thin Films Grown by RF-sputtering = RF-sputtering 법으로 Epitaxy 성장된 구리 단결정 박막의 결정 성장 매커니즘 분석 및 nano scale에서의 결정성 분석 연구 / Park Ho Yeol
개인저자
Publication
부산 : 부산대학교 대학원 , 2016
Physical Description
62 장 : 삽화 ; 26 cm
General Note
지도교수: Se Young Jeong
Dissertation Note
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 인지메카트로닉스공학과 , 2016. 8.
Bibliography Note
참고문헌: 장 54-56
Summary Note
국문초록: 장 57-59
System Note
Requires PDF file reader(application/pdf)
Keyword
Call Number
620.5 박95ㅈ
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