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대기압 플라즈마 Etching 기술 개발=(The) development of atmospheric pressure plasma etching technology
Document Type
Domestic Book
Title
대기압 플라즈마 Etching 기술 개발 = (The) development of atmospheric pressure plasma etching technology / 지식경제부 [편].
부출서명
21세기 프론티어기술개발사업
차세대정보디스플레이기술개발사업
차세대정보디스플레이기술개발사업
Corporate Name
Publication
서울 : 지식경제부 , 2008.
Physical Description
49p. : 삽도, 챠트 ; 30cm.
General Note
중사업명: 21세기 프론티어기술개발사업
세부사업명: 차세대정보디스플레이기술개발사업
주관연구기관 : (주)에스이 플라즈마
연구책임자 : 임성실
연구원 : 김윤환 [외]
세부사업명: 차세대정보디스플레이기술개발사업
주관연구기관 : (주)에스이 플라즈마
연구책임자 : 임성실
연구원 : 김윤환 [외]
Summary Note
요약문 및 Summary 수록
Call Number
621.381542 한17ㄷI
Items
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