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대면적 유도결합 및 자화유도결합 플라즈마의 진단과 시뮬레이션에 관한 연구 =(A) Study on Diagnostics and Simulation on a Large Area Inductively and Magnetized Inductively Coupled Plasma
Document Type
Thesis
Title
대면적 유도결합 및 자화유도결합 플라즈마의 진단과 시뮬레이션에 관한 연구 = (A) Study on Diagnostics and Simulation on a Large Area Inductively and Magnetized Inductively Coupled Plasma / 김윤기
개인저자
Publication
부산 : 부산대학교 대학원 , 2014.
Physical Description
viii, 172 장 : 삽화 ; 26 cm
General Note
지도교수:이호준
Dissertation Note
학위논문(박사)-- 부산대학교 대학원 : 전자전기컴퓨터공학과 , 2014. 2.
Bibliography Note
참고문헌: 장 166-170
Summary Note
Abstract: 장 171-172
System Note
Requires PDF file reader(application/pdf)
Call Number
621.39 김67ㄷ
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