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레이저 스페클간섭법에 의한 MEMS용 재료 기계적 물성평가기술 개발=Measurement technique of mechanical properties of materials for MEMS by laser speckle interferometry
Document Type
Domestic Book
Title
레이저 스페클간섭법에 의한 MEMS용 재료 기계적 물성평가기술 개발 = Measurement technique of mechanical properties of materials for MEMS by laser speckle interferometry / 과학기술부 [편].
부출서명
과학기술국제화사업
국제공동연구개발사업
국제공동연구개발사업
Publication
[과천] : 과학기술부 , 2006.
Physical Description
129 p. : 삽도 ; 26 cm.
General Note
중사업명 : 과학기술국제화사업
세부사업명 : 국제공동연구개발사업 = International joint R&D projects)
주관연구기관 : 조선대학교
연구책임자 : 김경석.
연구원 : 강기수
세부사업명 : 국제공동연구개발사업 = International joint R&D projects)
주관연구기관 : 조선대학교
연구책임자 : 김경석.
연구원 : 강기수
Bibliography Note
참고문헌 수록
Summary Note
요약문 및 Summary 수록
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