Catalog
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| 999 | ▼a 정영주▼b 정영주▲ |
MEMS 부품제조를 위한 나노 리소그래피 공정 기술 개발= Development of nanolithography process for manufacturing the MEMS
Document Type
Domestic Book
Title
MEMS 부품제조를 위한 나노 리소그래피 공정 기술 개발 = Development of nanolithography process for manufacturing the MEMS / 과학기술부 [편]
개인저자
Publication
[과천] : 과학기술부 , 2002 - 2005.
Physical Description
80장 : 삽도 ; 30 cm.
Series Title
General Note
주관연구기관명 : 경북대학교
주관연구책임자 : 김영석
주관연구책임자 : 김영석
Bibliography Note
참고문헌 수록
Summary Note
요약문, Summary 수록
Call Number
621.381 한17ㅇH
Items
RReservation
AAbsent
VPreservation
CLoan Campus
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PPrint
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