Catalog
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초고집적 소자의 적용 nano-pore 구조를 갖는 저유전 박막 형성과 공정기술 개발연구=Study on development and processing technology for the formation of the low dielectric thin film with nano-pore structure
Document Type
Domestic Book
Title
초고집적 소자의 적용 nano-pore 구조를 갖는 저유전 박막 형성과 공정기술 개발연구 = Study on development and processing technology for the formation of the low dielectric thin film with nano-pore structure / 과학기술부 [편].
개인저자
Publication
경기도 : 과학기술부 , 2003.
Physical Description
143장 : 삽도 ; 30 cm.
Series Title
국가지정연구실 사업 = National research laboratory program
General Note
주관연구기관 : 제주대학교
주관연구책임자 : 최치규
주관연구책임자 : 최치규
Bibliography Note
참고문헌 수록
Summary Note
요약문, Summary 수록
Call Number
621.38152 한17ㅊH
Items
RReservation
AAbsent
VPreservation
CLoan Campus
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DDelivery Service
SSMS
PPrint
HHolding Journal DDS
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