Catalog
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| 245 | 1 | 0 | ▼a 유도결합(ICP) 플라즈마를 이용한 진공건식도금 응용기술 및 장치 개발=▼x Development of coating technology and process by inductively coupled plasma/▼d 과학기술부 편▲ |
| 260 | ▼a 경기도: ▼b 과학기술부,▼c 2002 - 2005.▲ | ||
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| 440 | 0 | 0 | ▼a 국가지정연구실사업=▼x National research laboratory program▲ |
| 500 | ▼a 연구기관 : 서울대학교 Plasma Surface Engineering Lab.▲ | ||
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| 505 | 0 | ▼a v.2002, 188장. - v.2005, 351 p.▲ | |
| 520 | ▼a 요약문, Summary 수록▲ | ||
| 700 | 1 | ▼a 이정중▲ | |
| 710 | ▼a 서울대학교.▼b Plasma Surface Engineering Lab▲ | ||
| 740 | ▼a 유도결합 플라즈마를 이용한 진공건식도금 응용기술 및 장치 개발▲ | ||
| 950 | 1 | ▼a 비매품▲ | |
| 999 | ▼a 허성경▼b 정영주▲ |
유도결합(ICP) 플라즈마를 이용한 진공건식도금 응용기술 및 장치 개발= Development of coating technology and process by inductively coupled plasma
Document Type
Domestic Book
Title
유도결합(ICP) 플라즈마를 이용한 진공건식도금 응용기술 및 장치 개발 = Development of coating technology and process by inductively coupled plasma / 과학기술부 편
부출서명
유도결합 플라즈마를 이용한 진공건식도금 응용기술 및 장치 개발
개인저자
Corporate Name
Publication
경기도 : 과학기술부 , 2002 - 2005.
Physical Description
책 : 삽도,도표 ; 30 cm.
Series Title
국가지정연구실사업 = National research laboratory program
General Note
연구기관 : 서울대학교 Plasma Surface Engineering Lab.
연구책임자 : 이정중
연구책임자 : 이정중
Bibliography Note
참고문헌 수록
Formatted Contents Note
v.2002, 188장. - v.2005, 351 p.
Summary Note
요약문, Summary 수록
Call Number
671.73 한17ㅇC
Items
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AAbsent
VPreservation
CLoan Campus
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PPrint
HHolding Journal DDS
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