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증착온도가 Si₂H LPCVD 실리콘 박막의 구조적 전기적 특성에 미치는 영향 = Effect of deposition temperatures on the structure and electrical properties of Si₂H LPCVD silicon films
Document Type
Thesis
Title
증착온도가 Si₂H LPCVD 실리콘 박막의 구조적 전기적 특성에 미치는 영향 = Effect of deposition temperatures on the structure and electrical properties of Si₂H LPCVD silicon films / 홍찬희.
개인저자
Publication
서울 : 연세대학교 , 1993.
Physical Description
vii, 102장 : 삽도, 도판 ; 26 cm.
Dissertation Note
학위논문(박사) - 연세대학교 대학원 : 전기공학과 , 1993
Keyword
증착온도 , SI₂H , LPCVD , 실리콘박막 , DEPOSITION , TEMPERATURES , STRUCTURE , ELECTRICAL , PROPERTIES , SILICON , FILMS , 에스아이에이치 , 엘피시브이디
Call Number
561.84 홍811ㅈ
Items
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