Catalog
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원자층 증착법을 이용한 이트륨 산화물 박막 증착 및 CF4 플라즈마에서의 식각 특성에 관한 연구
Document Type
Thesis
Title
원자층 증착법을 이용한 이트륨 산화물 박막 증착 및 CF4 플라즈마에서의 식각 특성에 관한 연구 = Atomic Layer Deposition of Yttrium Oxide Thin Films and It’s Etching Behavior in CF4 Plasma / 이성
개인저자
Publication
부산 : 부산대학교 대학원 , 2025
Physical Description
v, 52 장 : 삽화, 도표 ; 30 cm
General Note
지도교수: 권세훈
Dissertation Note
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 재료공학과 , 2025. 2.
Bibliography Note
참고문헌: 장 46-51
Summary Note
국문요약 및 Abstract 수록
System Note
Requires PDF file reader(application/pdf)
Call Number
620.11 이53ㅇ
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