Catalog
| LDR | 01064nam a2200253 c 4500 | ||
| 001 | 0100839984▲ | ||
| 005 | 20250325110126▲ | ||
| 007 | ta▲ | ||
| 008 | 250204s2025 bnka bmFC 000c kor ▲ | ||
| 035 | ▼a(DCOLL221016)000000166986▲ | ||
| 040 | ▼a221016▼c221016▲ | ||
| 041 | 0 | ▼akor▲ | |
| 100 | 1 | ▼aKang, Dong Jin▲ | |
| 245 | 1 | 0 | ▼aStudy on the Characteristics of Hybrid Plasma Source Combined with Microwave and Inductively Coupled Plasma=▼x마이크로파와 유도 결합 플라즈마를 결합한 하이브리드 플라즈마 소스의 특성 연구/▼dKang, Dong Jin 저▲ |
| 260 | ▼a부산 :▼b부산대학교 대학원,▼c2025▲ | ||
| 300 | ▼a43p.▼c30cm▲ | ||
| 500 | 1 | 0 | ▼j마이크로파와 유도 결합 플라즈마를 결합한 하이브리드 플라즈마 소스의 특성 연구▲ |
| 500 | ▼a지도교수:이호준▲ | ||
| 502 | 0 | ▼a학위논문(석사)--▼b부산대학교 대학원▼c전기전자공학과,▼d2025. 2.▲ | |
| 504 | ▼a참고문헌 : p.▲ | ||
| 538 | ▼aRequires PDF file reader(application/pdf)▲ | ||
| 653 | ▼aPlasma▼aInductively Coupled Plasma▼aMicrowave Plasma▲ | ||
| 700 | 1 | ▼aKang, Dong Jin▲ | |
| 856 | 4 | ▼adcollection.pusan.ac.kr▼uhttps://dcollection.pusan.ac.kr/common/orgView/000000166986▲ |
Study on the Characteristics of Hybrid Plasma Source Combined with Microwave and Inductively Coupled Plasma
Document Type
Thesis
Title
Study on the Characteristics of Hybrid Plasma Source Combined with Microwave and Inductively Coupled Plasma = 마이크로파와 유도 결합 플라즈마를 결합한 하이브리드 플라즈마 소스의 특성 연구 / Kang, Dong Jin 저
Publication
부산 : 부산대학교 대학원 , 2025
Physical Description
43p. 30cm
General Note
마이크로파와 유도 결합 플라즈마를 결합한 하이브리드 플라즈마 소스의 특성 연구
지도교수:이호준
지도교수:이호준
Dissertation Note
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 전기전자공학과 , 2025. 2.
Bibliography Note
참고문헌 : p.
System Note
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