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A Study on the Heat Resistance of Boron-doped DLC films by RF-PECVD
Document Type
Thesis
Title
A Study on the Heat Resistance of Boron-doped DLC films by RF-PECVD = RF-PECVD법에 의한 붕소도핑 DLC 박막의 열저항성 연구 / Wanrong Li
개인저자
Publication
부산 : 부산대학교 대학원 , 2019
Physical Description
vii, 50 장 ; 삽화 ; 30 cm
General Note
지도교수: Tae Gyu Kim
Dissertation Note
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 나노융합기술학과 , 2019. 8.
Bibliography Note
참고문헌: 장 46-48
Summary Note
국문요약 및 Abstract 수록
System Note
Requires PDF file reader(application/pdf)
Keyword
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620.5 리66ㅇ
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