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CMP에서 패드 돌기와 디바이스 패턴의 접촉 모드에 따른 수학적 모델링
Document Type
Thesis
Title
CMP에서 패드 돌기와 디바이스 패턴의 접촉 모드에 따른 수학적 모델링 = Mathematical Modeling based on contact mode between pad asperity and device pattern during CMP / 김현진
개인저자
Publication
부산 : 부산대학교 대학원 , 2019
Physical Description
iv, 66 장 : 삽화 ; 30 cm
General Note
지도교수: 정해도
Dissertation Note
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 기계공학부 , 2019. 2.
Bibliography Note
참고문헌: 장 61-64
Summary Note
국문요약 및 Abstract 수록
System Note
Requires PDF file reader(application/pdf)
Call Number
621.92 김94ㅅ
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