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Study of SRAF placement for contact at 45 nm and 32 nm node.

Document Type

Article

Author

Farys, V.; Robert, F.; Martinelli, C.; Trouiller, Y.; Sundermann, F.; Gardin, C.; Planchot, J.; Kerrien, G.; Vautrin, F.; Saied, M.; Yesilada, E.; Foussadier, F.; Villaret, A.; Perraud, L.; Vandewalle, B.; Le Denmat, J. C.; Top, M. K.

Source

Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p69242Z-69242Z-7, 7p

Subject

Language

ISSN

0277786X

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