학술논문 – 부산대학교 도서관

학술논문

replay검색결과 돌아가기

search검색화면

New generation of Self Ionized Plasma copper seed for sub 40 nm nodes

Document Type

Article

Author

Guillan, J.; Haxaire, K.; Chhun, S.; Richard, E.; Luche, M.C.; Arnaud, L.; Petitprez, E.; Monget, C.; Galpin, D.; Normandon, P.

Source

In Microelectronic Engineering 2011 88(5):697-700

Subject

Language

ISSN

0167-9317

Online Access

Full Text (ScienceDirect) Web of Science JCR 저널정보 Scopus Find it@PNU

이메일