학술논문
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1~20
Conference
Halle, Scott D.; Hotta, Shoji; Koay, Chiew-seng; Chen, Shyng-Tsong; Kato, Takeshi; Yamaguchi, Atsuko; Colburn, Matthew
2012 SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2012 23rd Annual SEMI. :321-326 May, 2012
Conference
Holmes, Steven J.; Tang, Cherry; Burns, Sean; Yin, Yunpeng; Chen, Rex; Koay, Chiew-seng; Kini, Sumanth; Tomizawa, Hideyuki; Chen, Shyng-Tsong; Fender, Nicolette; Osborn, Brian; Singh, Lovejeet; Petrillo, Karen; Landie, Guillaume; Halle, Scott; Liu, Sen; Arnold, John C.; Spooner, Terry; Varanasi, Rao; Slezak, Mark; Colburn, Matthew; Dunn, Shannon; Hetzer, David; Kawakami, Shinichiro; Cantone, Jason
2011 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2011 22nd Annual IEEE/SEMI. :1-8 May, 2011
Conference
Chen, Shyng-Tsong; Kim, Tae-Soo; Nam, Seo-woo; Lafferty, Neal; Koay, Chiew-Seng; Saulnier, Nicole; Wang, Wenhui; Xu, Yongan; Duclaux, Benjamin; Mignot, Yann; Beard, Marcy; Yin, Yunpeng; Shobha, Hosadurga; Van der Straten, Oscar; He, Ming; Kelly, James; Colburn, Matthew; Spooner, Terry
2013 IEEE International Interconnect Technology Conference - IITC Interconnect Technology Conference (IITC), 2013 IEEE International. :1-3 Jun, 2013
Conference
Chen, James Hsueh-Chung; Waskiewicz, Christopher; Fan, Susan Su-Chen; Halle, Scott; Koay, Chiew-seng; Xu, Yongan; Saulnier, Nicole; Tseng, Chia-Hsun; Yin, Yunpeng; Mignot, Yann; Beard, Marcy; Morris, Bryan; Horak, Dave; Mignot, Sylvie; Shobha, Hosadurga; Sankarapandian, Muthumanickam; van der Straten, Oscar; Kelly, James J.; Canaperi, Donald; Mclellan, Erin; Boye, Carol; Levin, Theodore; Li, Juntao; Demarest, James; Choi, Samuel; Huang, Elbert; Liemann, Lars; Haran, Bala; Arnold, John C; Colburn, Matthew; Clevenger, Larry; Spooner, Terry
2012 IEEE International Interconnect Technology Conference Interconnect Technology Conference (IITC), 2012 IEEE International. :1-3 Jun, 2012
Book
Martin Richardson; Chiew-Seng Koay; Kazutoshi Takenoshita; Christian Keyser; Simi George; Moza Al-Rabban; Vivek Bakshi
EUV Sources for Lithography ISBN: 9780819458452
Academic Journal
Obert Wood; John Arnold; Timothy Brunner; Martin Burkhardt; James H.-C. Chen; Deniz Civay; Susan S.-C. Fan; Emily Gallagher; Scott Halle; Ming He; Craig Higgins; Hirokazu Kato; Jongwook Kye; Chiew-Seng Koay; Guillaume Landie; Pak Leung; Gregory McIntyre; Satoshi Nagai; Karen Petrillo; Sudhar Raghunathan; Ralph Schlief; Lei Sun; Alfred Wagner; Tom Wallow; Yunpeng Yin; Xuelian Zhu; Matthew Colburn; Daniel Corliss; Cecilia Smolinski
SPIE Proceedings.
Academic Journal
Thomas Wallow; Craig Higgins; Robert Brainard; Karen Petrillo; Warren Montgomery; Chiew-Seng Koay; Greg Denbeaux; Obert Wood; Yayi Wei
SPIE Proceedings.
Academic Journal
SPIE Proceedings. 10145:101450B
Academic Journal
SPIE Proceedings. 9778:97781K
Academic Journal
Karen Petrillo; Nicole Saulnier; Richard Johnson; Luciana Meli; Chris Robinson; Chiew-seng Koay; Nelson Felix; Daniel Corliss; Matthew Colburn; Takashi Saito; Lior Huli; David Hetzer; Hiroie Matsumoto; Andrew Metz; Yudai Hira
SPIE Proceedings. 9422:94220R
Academic Journal
SPIE Proceedings. 8682:86820E
Academic Journal
Sohan S. Mehta; Yongan Xu; Guillaume Landie; Vikrant Chauhan; Sean D. Burns; Peggy Lawson; Bassem Hamieh; Jerome Wandell; Martin Glodde; Yu Yang Sun; Mark Kelling; Alan Thomas; Jeong Soo Kim; James Chen; Hirokazu Kato; Chiahsun Tseng; Chiew-Seng Koay; Yoshinori Matsui; Martin Burkhardt; Yunpeng Yin; David Horak; Shyng-Tsong Chen; Yann Mignot; Yannick Loquet; Matthew Colburn; John Arnold; Terry Spooner; Lior Huli; Dave Hetzer; Jason Cantone; Shinichiro Kawakami; Shannon Dunn
SPIE Proceedings. 8325:832506
Overlay improvement roadmap: strategies for scanner control and product disposition for 5-nm overlay
Academic Journal
Nelson M. Felix; Allen H. Gabor; Vinayan C. Menon; Peter P. Longo; Scott D. Halle; Chiew-seng Koay; Matthew E. Colburn
SPIE Proceedings. 7971:79711D
Academic Journal
Martin Glodde; Sebastian Engelmann; Michael Guillorn; Sivananda Kanakasabapathy; Erin Mclellan; Chiew-Seng Koay; Yunpeng Yin; Muthumanickam Sankarapandian; John C. Arnold; Karen Petrillo; Markus Brink; Hiroyuki Miyazoe; E. Anuja de Silva; Hakeem Yusuff; Kwang-sub Yoon; Yayi Wei; Chung-hsi J. Wu; P. Rao Varanasi
SPIE Proceedings. 7972:797216
Academic Journal
Steven J. Holmes; Cherry Tang; Sean Burns; Yunpeng Yin; Rex Chen; Chiew-seng Koay; Sumanth Kini; Hideyuki Tomizawa; Shyng-Tsong Chen; Nicolette Fender; Brian Osborn; Lovejeet Singh; Karen Petrillo; Guillaume Landie; Scott Halle; Sen Liu; John C. Arnold; Terry Spooner; Rao Varanasi; Mark Slezak; Matthew Colburn
SPIE Proceedings. 7972:79720G
Academic Journal
Ryoung-Han Kim; Chiew-seng Koay; Sean D. Burns; Yunpeng Yin; John C. Arnold; Christopher Waskiewicz; Sanjay Mehta; Martin Burkhardt; Matthew E. Colburn; Harry J. Levinson
SPIE Proceedings. 7973:79730N
Academic Journal
Chiew-seng Koay; Scott Halle; Steven Holmes; Karen Petrillo; Matthew Colburn; Youri van Dommelen; Aiqin Jiang; Michael Crouse; Shannon Dunn; David Hetzer; Shinichiro Kawakami; Jason Cantone; Lior Huli; Martin Rodgers; Brian Martinick
SPIE Proceedings. 7973:79730F
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