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ㅼ
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㎫
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±
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∴
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essderc '03. 33rd conference on european solid-state device research, 2003., european solid-state device research, 2003. essderc '03. 33rd conference on, solid-state device research - essderc '03
(2)
essderc 2008 - 38th european solid-state device research conference, solid-state device research conference, 2008. essderc 2008. 38th european
(2)
ieee international electron devices meeting 2003, electron devices meeting, 2003. iedm '03 technical digest. ieee international, electron devices iedm'03
(2)
ieee transactions on electron devices, electron devices, ieee transactions on, ieee trans. electron devices
(2)
ieee transactions on plasma science
(2)
international electron devices meeting. technical digest (cat. no.01ch37224), electron devices meeting, 2001. iedm '01. technical digest. international, electron devices meeting 2001
(2)
nuclear inst. and methods in physics research, b
(2)
quality & reliability engineering international
(2)
1999 symposium on vlsi technology. digest of technical papers (ieee cat. no.99ch36325), vlsi technology, 1999. digest of technical papers. 1999 symposium on, vlsi technology
(1)
2000 symposium on vlsi technology. digest of technical papers (cat. no.00ch37104), vlsi technology, 2000. digest of technical papers. 2000 symposium on, vlsi technology
(1)
2002 ieee international soi conference, soi conference, ieee international 2002, soi conference
(1)
2003 symposium on vlsi technology. digest of technical papers (ieee cat. no.03ch37407), vlsi technology, 2003. digest of technical papers. 2003 symposium on, vlsi technology
(1)
2006 bipolar/bicmos circuits and technology meeting, bipolar/bicmos circuits and technology meeting, 2006
(1)
2006 international electron devices meeting, electron devices meeting, 2006. iedm '06. international
(1)
2007 ieee international electron devices meeting, electron devices meeting, 2007. iedm 2007. ieee international
(1)
2007 ieee international interconnect technology conferencee, international interconnect technology conference, ieee 2007
(1)
2007 ieee symposium on vlsi technology, vlsi technology, 2007 ieee symposium on
(1)
2009 proceedings of the european solid state device research conference, solid state device research conference, 2009. essderc '09. proceedings of the european
(1)
2009 symposium on vlsi technology, vlsi technology, 2009 symposium on
(1)
27th european solid-state device research conference, solid-state device research conference, 1997. proceeding of the 27th european
(1)
31st european solid-state device research conference, solid-state device research conference, 2001. proceeding of the 31st european
(1)
32nd european solid-state device research conference, solid-state device research conference, 2002. proceeding of the 32nd european
(1)
elsevier, energy
(1)
essderc 2007 - 37th european solid state device research conference, solid state device research conference, 2007. essderc 2007. 37th european
(1)
essderc '96: proceedings of the 26th european solid state device research conference, solid state device research conference, 1996. essderc '96. proceedings of the 26th european
(1)
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(1)
iedm technical digest. ieee international electron devices meeting, 2004., electron devices meeting, 2004. iedm technical digest. ieee international, electron devices meeting
(1)
ieee transactions on magnetics, magnetics, ieee transactions on, ieee trans. magn.
(1)
ieee transactions on plasma science, plasma science, ieee transactions on, ieee trans. plasma sci.
(1)
international electron devices meeting 1999. technical digest (cat. no.99ch36318), electron devices meeting, 1999. iedm '99. technical digest. international, electron devices
(1)
ninth ieee/chmt international symposium on electronic manufacturing technology,competitive manufacturing for the next decade, electronic manufacturing technology symposium, 1990 proceedings, competitive manufacturing for the next decade. iemt symposium, ninth ieee/chmt international
(1)
proceedings of 2011 international symposium on vlsi technology, systems and applications, vlsi technology, systems and applications (vlsi-tsa), 2011 international symposium on
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(40)
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(7)
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(1)
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