학술논문

Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb
Modeling and design of resonant microactors with electrostatic drive
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Author
Source
Subject
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Mikrospiegel
Mikrosystem
MEMS
resonant
elektrostatisch
nichtlinear
micromirror
microsystem
electrostatic
non-linear
Engineering and mechanical engineering
Micromirror
Microsystem
Language
German
Abstract
Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2016