학술논문
Real-time imaging-ellipsometry on cylindrical substrates with a polarization camera
Document Type
research-article
Author
Source
tm - Technisches Messen. 91(2):122-128
Subject
Language
English
ISSN
0171-8096
2196-7113
2196-7113
Abstract
Wir demonstrieren ein abbildendes Echtzeit-Ellipsometer, basierend auf einer Polarisationskamera. Das System kann für die Qualitätskontrolle von Beschichtungen im Dickenbereich 0–500 nm benutzt werden. Wir beschreiben die Anwendung an zylindrischen Proben, wie Flaschen, Rohre oder Folien auf Umlenkrollen in der Rolle-zu-Rolle-Produktion. Wir zeigen Messergebnisse des neuen Systems an SiO2-beschichteten PET-Flaschen, PDMS-beschichteten Karpulen und SiO2-beschichteten PET-Folien. Mit bis zu 24 Aufnahmen pro Sekunde werden sowohl schnelle Anwendungen im Labor als auch in Echtzeit in der Produktionslinie adressiert.