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Analytical model for the sputtering of rough surfaces

Document Type

Article

Author

Szabo, P.S.; Cupak, C.; Biber, H.; Jäggi, N.; Galli, A.; Wurz, P.; Aumayr, F.

Source

In Surfaces and Interfaces June 2022 30

Subject

Language

ISSN

2468-0230

Online Access

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