학술논문 – 부산대학교 도서관

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Air gap formation by UV-assisted decomposition of CVD material

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Article

Author

Pantouvaki, M.; Humbert, A.; VanBesien, E.; Camerotto, E.; Travaly, Y.; Richard, O.; Willegems, M.; Volders, H.; Kellens, K.; Daamen, R.; Hoofman, R.J.O.M.; Beyer, G.

Source

In Microelectronic Engineering 2008 85(10):2071-2074

Subject

Language

ISSN

0167-9317

Online Access

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