학술논문 – 부산대학교 도서관

오늘 하루 닫기

학술논문

replay검색결과 돌아가기

search검색화면

Template fabrication schemes for step and flash imprint lithography

Document Type

Article

Author

Bailey, T.C.; Resnick, D.J. ; Mancini, D.; Nordquist, K.J.; Dauksher, W.J.; Ainley, E.; Talin, A.; Gehoski, K.; Baker, J.H.; Choi, B.J.; Johnson, S.; Colburn, M.; Meissl, M.; Sreenivasan, S.V.; Ekerdt, J.G.; Willson, C.G.

Source

In Microelectronic Engineering 2002 61:461-467

Subject

Language

ISSN

0167-9317

Online Access

Full Text (ScienceDirect) Web of Science JCR 저널정보 Scopus Find it@PNU

이메일