학술논문 – 부산대학교 도서관

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High-quality 6 inch (111) 3C-SiC films grown on off-axis (111) Si substrates

Document Type

Article

Author

Severino, A.; Bongiorno, C.; Piluso, N.; Italia, M.; Camarda, M.; Mauceri, M.; Condorelli, G.; Di Stefano, M.A.; Cafra, B.; La Magna, A.; La Via, F.

Source

In Thin Solid Films 2010 518(6) Supplement 1:S165-S169

Subject

Language

ISSN

0040-6090

Online Access

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