학술논문 – 부산대학교 도서관

학술논문

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ㅏ	あ a	ぁ	か ka	が ga	さ sa	ざ za	た ta	だ da		な na	は ha	ば ba	ぱ pa	ま ma	や ya	ゃ lya	ら ra	わ wa	ゎ lwa	ん n
l	い i	ぃ	き ki	ぎ gi	し si	じ zi	ち ti	ぢ di		に ni	ひ hi	び bi	ぴ pi	み mi			り ri
ㅜ	う u	ぅ	く ku	ぐ gu	す su	ず zu	つ tu	づ du	っ	ぬ nu	ふ hu	ぶ bu	ぷ pu	む mu	ゆ yu	ゅ lyu	る ru
ㅔ	え e	ぇ	け ke	げ ge	せ se	ぜ ze	て te	で de		ね ne	へ he	べ be	ぺ pe	め me			れ re
ㅗ	お o	ぉ	こ ko	ご go	そ so	ぞ zo	と to	ど do		の no	ほ ho	ぼ bo	ぽ po	も mo	よ yo	ょ lyo	ろ ro	を wo

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ㅏ	ア a	ァ	カ ka	ガ ga	サ sa	ザ za	タ ta	ダ da		ナ na	ハ ha	バ ba	パ pa	マ ma	ヤ ya	ャ lya	ラ ra	ワ wa	ヮ lwa		ン n
l	イ i	ィ	キ ki	ギ gi	シ si	ジ zi	チ ti	ヂ di		ニ ni	ヒ hi	ビ bi	ピ pi	ミ mi			リ ri
ㅜ	ウ u	ゥ	ク ku	グ gu	ス su	ズ zu	ツ tu	ヅ du	ッ	ヌ nu	フ hu	ブ bu	プ pu	ム mu	ユ yu	ュ lyu	ル ru			ヴ vu
ㅔ	エ e	ェ	ケ ke	ゲ ge	セ se	ゼ ze	テ te	デ de		ネ ne	ヘ he	ベ be	ぺ pe	メ me			レ re
ㅗ	オ o	ォ	コ ko	ゴ go	ソ so	ゾ zo	ト to	ド do		ノ no	ホ ho	ボ bo	ポ po	モ mo	ヨ yo	ョ lyo	ロ ro	ヲ wo		ーー

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발행년	- (예 : 2010-2015)

'학술논문' 에서 검색결과 4건 | 목록 1~10

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ALD Options for Si-integrated Ultrahigh-density Decoupling Capacitors in Pore and Trench Designs

Periodical

Klootwijk, Johan; Verhoeven, Jan; van, Eric; Heuvel, den; Dekkers, Wouter; Heil, Stephan; van, Hans; van, Richard; Sanden, de; Kessels, Erwin; Cornec, F Le; Guiraud, L; Chevrie, D; Bunel, C; Murray, F; Kim, Heondo; Blin, D

ECS Transactions; July 2007, Vol. 3 Issue: 15 p173-181, 9p

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Optimization of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Processes for Oxides, Nitrides and Metals in the Oxford Instruments FlexAL Reactor

Periodical

Hodson, Chris; Singh, Nick; Heil, Stephan; van, Hans; and, Hemmen; Kessels, Erwin

ECS Transactions; July 2007, Vol. 3 Issue: 15 p79-86, 8p

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Remote Plasma and Thermal ALD of Al2O3 for Trench Capacitor Applications

Periodical

van, Hans; Heil, Stephan; Klootwijk, Johan; Hodson, Chris; van, Richard; Sanden, de; Kessels, Erwin

ECS Transactions; July 2007, Vol. 3 Issue: 15 p67-77, 11p

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Opportunities for Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition

Periodical

Kessels, Erwin; Heil, Stephan; Langereis, Erik; van, Hans; Knoops, Harm; Keuning, Wytze; van, Richard; Sanden, de

ECS Transactions; July 2007, Vol. 3 Issue: 15 p183-190, 8p

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[AR] van, Hans

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