학술논문
'학술논문'
에서 검색결과 1건 | 목록
1~10
Patterning and etch challenges for future DRAM and other high aspect ratio memory device fabrication
Periodical
Zhang, Ying; Oehrlein, Gottlieb S.; Lin, Qinghuang; Rueger, N. R.; McGinnis, A.; Good, F.; Schrinsky, A. J.; Kiehlbauch, M.
Proceedings of SPIE; March 2013, Vol. 8685 Issue: 1 p86850E-86850E-15, 8598166p
검색 결과 제한하기
제한된 항목
[AR] Schrinsky, A. J.
발행연도 제한
-
학술DB(Database Provider)
자료유형(Source Type)