학술논문

	o	ㅋ	ㄱ	ㅅ	ㅈ	ㅌ	ㄷ	촉	ㄴ	ㅎ	ㅂ	ㅃ	ㅁ	야	ㄹ	와
ㅏ	あ a	ぁ	か ka	が ga	さ sa	ざ za	た ta	だ da		な na	は ha	ば ba	ぱ pa	ま ma	や ya	ゃ lya	ら ra	わ wa	ゎ lwa	ん n
l	い i	ぃ	き ki	ぎ gi	し si	じ zi	ち ti	ぢ di		に ni	ひ hi	び bi	ぴ pi	み mi			り ri
ㅜ	う u	ぅ	く ku	ぐ gu	す su	ず zu	つ tu	づ du	っ	ぬ nu	ふ hu	ぶ bu	ぷ pu	む mu	ゆ yu	ゅ lyu	る ru
ㅔ	え e	ぇ	け ke	げ ge	せ se	ぜ ze	て te	で de		ね ne	へ he	べ be	ぺ pe	め me			れ re
ㅗ	お o	ぉ	こ ko	ご go	そ so	ぞ zo	と to	ど do		の no	ほ ho	ぼ bo	ぽ po	も mo	よ yo	ょ lyo	ろ ro	を wo

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ㅏ	ア a	ァ	カ ka	ガ ga	サ sa	ザ za	タ ta	ダ da		ナ na	ハ ha	バ ba	パ pa	マ ma	ヤ ya	ャ lya	ラ ra	ワ wa	ヮ lwa		ン n
l	イ i	ィ	キ ki	ギ gi	シ si	ジ zi	チ ti	ヂ di		ニ ni	ヒ hi	ビ bi	ピ pi	ミ mi			リ ri
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ㅔ	エ e	ェ	ケ ke	ゲ ge	セ se	ゼ ze	テ te	デ de		ネ ne	ヘ he	ベ be	ぺ pe	メ me			レ re
ㅗ	オ o	ォ	コ ko	ゴ go	ソ so	ゾ zo	ト to	ド do		ノ no	ホ ho	ボ bo	ポ po	モ mo	ヨ yo	ョ lyo	ロ ro	ヲ wo		ーー

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Study of PH/sub 3/ and B/sub 2/H/sub 6/ ion beam species generated by inductively coupled plasma

Conference

Chen, K.; Ra, G.J.; Shao, Y.; Mo, G.; Lichtenthal, S.; Blake, J.; Sato, M.

1998 International Conference on Ion Implantation Technology. Proceedings (Cat. No.98EX144) Ion implantation technology Ion Implantation Technology Proceedings, 1998 International Conference on. 2:1218-1221 vol.2 1998

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Improvement of contact resistance with molecular ion implantation

Conference

Lee, K.W.; Huh, T.H.; Kim, S.; Ra, G.J.; Harris, M.A.; Reece, R.N.; Lee, J.K.; Oh, J.G.; Ju, M.A.; Jeon, S.J.; Ku, J.C.; Park, S.K.; Yoon, D.H.

In: AIP Conference Proceedings, Ion Implantation Technology 2008 - 17th International Conference on Ion Implantation Technology, IIT 2008. (AIP Conference Proceedings, 2008, 1066:505-508)

Full Text (AIP) Scopus Find it@PNU

Improved Rs monitoring for robust process control of high energy well implants

Conference

Kim, J.H.; Kim, S.; Ra, G.J.; Lee, K.W.; Reece, R.N.; Bae, S.Y.

In: AIP Conference Proceedings, Ion Implantation Technology 2008 - 17th International Conference on Ion Implantation Technology, IIT 2008. (AIP Conference Proceedings, 2008, 1066:179-181)

Full Text (AIP) Scopus Find it@PNU

A study of carbon effects in implantation process for non-silicide contact formation

Conference

Huh, T.H.; Kim, S.; Ra, G.J.; Reece, R.N.; Kondratenko, S.I.; Kim, Y.S.; Shin, K.I.; Jeon, W.H.

In: AIP Conference Proceedings, ION IMPLANTATION TECHNOLOGY: 16th International Conference on Ion Implantation Technology, IIT 2006. (AIP Conference Proceedings, 2006, 866:101-104)

Full Text (AIP) Scopus Find it@PNU

Study of PH3 and B2H6 ion beam species generated by inductively coupled plasma

Conference

Chen, K.; Ra, G.J.; Shao, Y.; Mo, G.; Lichtenthal, S.; Blake, J.; Sato, M.

In: Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology. (Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology, 1999, 2:1218-1221)

Scopus Find it@PNU

Study of PH/sub 3/ and B/sub 2/H/sub 6/ ion beam species generated by inductively coupled plasma.

Conference

Chen, K.; Ra, G.J.; Shao, Y.; Mo, G.; Lichtenthal, S.; Blake, J.; Sato, M.

1998 International Conference on Ion Implantation Technology Proceedings (Cat No98EX144); 1999, Issue 2, p1218-1218, 1p

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