학술논문
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Academic Journal
Schemerov, I. V.; Polyakov, A. Yu.; Almaev, A. V.; Nikolaev, V. I.; Kobeleva, S. P.; Vasilyev, A. A.; Kirilov, V. D.; Kochkova, A. I.; Kopiev, V. V.; Kulanchikov, Yu. O.
Academic Journal
Schemerov, I. V.; Polyakov, A. Yu.; Almaev, A. V.; Nikolaev, V. I.; Kobeleva, S. P.; Vasilyev, A. A.; Kirilov, V. D.; Kochkova, A. I.; Kopiev, V. V.; Kulanchikov, Yu. O.
Russian Microelectronics. 52(8):827-834
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[AR] Kirilov, V. D.
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