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Silizium-Mikro-Kraftsensoren für haptische Katheterisierungen: Entwurf, Musterbau und Signalverarbeitung sowie erste Validierung des Assistenzsystems HapCath
Silicon micro-force sensors for haptic catheterizations: design, sample construction and signal processing as well as initial validation of the HapCath assistance system
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Grenzflächenausbildung zwischen LiNbO3 (LiTaO3) und Barriereschichten für den Einsatz bei Metallisierungssystemen für SAW-Strukturen
Vogel, Uwe
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Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb
Modeling and design of resonant microactors with electrostatic drive
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Laser-akustische Messtechnik in der Materialcharakterisierung :Numerische Schallfeldberechnung und praxisgerechte Auslegung für die kontaktlose Volumenprüfung
Windisch, Thomas
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Neuartige Ausheilverfahren in der SOI-CMOSFET-Technologie
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