학술논문
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Predictive Maintenance of Pins in the ECD Equipment for Cu Deposition in the Semiconductor Industry.
Academic Journal
Amato, Umberto; Antoniadis, Anestis; De Feis, Italia; Fazio, Domenico; Genua, Caterina; Gijbels, Irène; Granata, Donatella; La Magna, Antonino; Pagano, Daniele; Tochino, Gabriele; Vasquez, Patrizia
Academic Journal
In IFAC Proceedings Volumes 2006 39(3):691-696
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[AR] Genua, Caterina
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