학술논문
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Guckel, H.; Christenson, T. R.; Skrobis, K. J.; Denton, D. O.; Choi, B.; Lovell, E. G.; Lee, J. W.; Bajikar, S. S.; Chapman, T. W.
Micromechanics & MEMS; 1997, p634-638, 5p
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[AR] Denton, D. O.
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