학술논문

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Conference
Technical Digest. MEMS 2002 IEEE International Conference. Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.02CH37266) Microelectromechanical systems - MEMS 2002 Micro Electro Mechanical Systems, 2002. The Fifteenth IEEE International Conference on. :204-209 2002
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[AR] Clark, J.V.
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