학술논문
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Academic Journal
Manchanda, L ; Morris, M.D; Green, M.L; van Dover, R.B; Klemens, F; Sorsch, T.W; Silverman, P.J; Wilk, G; Busch, B; Aravamudhan, S
In Microelectronic Engineering 2001 59(1):351-359
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Neususs, C; Wex, H; Birmili, W; Wiedensohler, A; Koziar, C; Busch, B; Bruggemann, E; Gnauk, T; Ebert, M; Covert, DS
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[AR] Busch, B
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