학술논문
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Academic Journal
Shafikov, A.; van de Kruijs, R. W. E.; Benschop, J. P. H.; Schurink, B.; van den Beld, W. T. E.; Houweling, Z. S.; Kooi, B. J.; Ahmadi, M.; de Graaf, S.; Bijkerk, F.
Academic Journal
Reticle's contribution to critical dimension control and overlay in extreme-ultraviolet lithography.
Academic Journal
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2000, Vol. 18 Issue 6, p2921-2925, 5p
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[AR] Benschop, J. P. H.
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