학술논문 – 부산대학교 도서관

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High reflectance ta-C coatings in the extreme ultraviolet

Document Type

Journal

Author

Larruquert, J. I.; Rodriguez-de Marcos, L. V.; Mendez, J. A.; Martin, P. J.; Bendavid, A.

Source

OPTICS EXPRESS; NOV 18 2013, 21 23, p27537-p27549, 13p.

Subject

Language

English

ISSN

10944087

Online Access

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