학술논문 – 부산대학교 도서관

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유해 가스 감지를 위한 c MEMS 기반 화학저항식 가스센서

Document Type

Conference

Author

양민석; 배성국; 서정환

Source

대한기계학회 춘추학술대회. 2023-05 2023(05):124-124

Subject

Chemiresistive gas sensor(화학저항식가스센서)
VOCs(휘발성유기화합물)
c-MEMS
SU-8

Language

Korean

Online Access

Full Text (DBPIA)

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