학술논문
Microstructure and Mechanical Properties of Cr-Ni-N Nanocomposite Films by HiPIMS
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Dissertation/ Thesis
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English
Abstract
High power impulse magnetron sputtering(HiPIMS) 와 radio frequnecy magnetron sputtering(RFMS) 로 구성된 hybrid coating system을 통하여 Cr-Ni-N nanocomposite film을 증착하였다. Ni이 장착된 RFMS 의 파워를 조절하여 Ni의 함량을 0에서 6.3 at. % 까지 변화시켜 미세구조와 기계적 특성을 연구하였다. 미세구조와 결정구조 분석을 통하여 Ni 이 소량 CrN 결정과 고용체를 이루고 나머지는 CrN 입계에 편석되어 존재함을 확인 하였다. 또한 Ni 함량이 증가함에 따라 박막의 인성이 크게 증가함을 보였다. 박막의 경도는 30.4 GPa에서 32.6 GPa 로 증가하였으며 이는 결정립 미세화와 고용체강화 효과에 기인한 것으로 판단된다. Ni 함량이 2.7 at. % 일 때 가장 좋은 내마모성을 보유하는 것을 확인하였다.