학술논문 – 부산대학교 도서관

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ミストCVD法によるIGZO薄膜の作製とその特性

Document Type

Journal Article

Author

内田貴之; 古田守; 川原村敏幸; 眞田克

Source

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2013, :3707

Subject

29p-G19-7
ミスト化学気相成長法
合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
薄膜
酸化インジウムガリウム亜鉛

Language

Japanese

ISSN

2436-7613

Online Access

Open Access (JSTAGE) Find it@PNU

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