학술논문

多段階のエッチングを用いた複合形状の微小柱状構造アレイの作製
Document Type
Journal Article
Source
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2023, :642
Subject
combined process
etching
micro pillar array
mold
silicon
エッチング
シリコン
微小構造アレイ
複合加工
鋳型
Language
Japanese

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