학술논문

Ar+イオンビームによるAgナノ粒子のスパッタリング / Sputtering of Ag Nanoparticles Bombarded with Ar+ Ions
Document Type
Journal Article
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :1776
Subject
20a-E203-7
ion beam
nano
sputtering
イオンビーム
イオンビーム一般
イオン・固体相互作用
スパッタリング
ナノ
ビーム応用
Language
Japanese
ISSN
2436-7613