학술논문 – 부산대학교 도서관

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中性粒子ビームを用いたMEMSデバイス作製のための低ダメージエッチング

Document Type

Journal Article

Author

三輪和弘; 久保田智広; 寒川誠二; 杉山正和; 植木真治; 西森勇貴

Source

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2012, :3824

Subject

13a-F7-1
エッチング
ダメージ
中性粒子
合同セッション
合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

Language

Japanese

ISSN

2436-7613

Online Access

Open Access (JSTAGE) Find it@PNU

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