학술논문

表面活性化接合用新規高速原子ビームガン
Document Type
Journal Article
Source
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2019, :687
Subject
Ar plasma
Fast atom beam (FAB)
Room-temperature bonding
Surface-activated bonding (SAB)
アルゴンプラズマ
常温接合
表面活性化接合
高速原子ビーム
Language
Japanese

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