학술논문

GaN基板上への円偏光LIPSS形成 / LIPSS formation by circularly polarized laser pulses on GaN substrate
Document Type
Journal Article
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2020, :826
Subject
14a-PB4-8
GaN
LIPSS
レーザープロセシング
レーザー誘起周期構造
光・フォトニクス
微細加工
窒化ガリウム
Language
Japanese
ISSN
2436-7613