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25aYF-11 Observation of impurity dope pattern on silicon substrate by an incidentphotonenergy tunable SH microempe / 25aYF-11 波長可変SH顕微鏡によるシリコンの不純物ドープパターンの観察(25aYF 表面界面電子物性,領域9(表面・界面,結晶成長分野))
Document Type
Journal Article
Author
G. Mizutani; J. Ikeda; R. Sano; 佐野 陽之; 水谷 五郎; 池田 順一
Source
Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan. 2002, :831
Subject
Language
Japanese
ISSN
2189-0803

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