학술논문

Distinguishing nitrogen-containing sites in SiO2/SiC by X-ray absorption spectroscopy / X線吸収分光による4H-SiC(m面)表面に導入された窒素の局所構造解析
Document Type
Journal Article
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :3623
Subject
19p-PB4-6
IV族系化合物(SiC)
interface structure
nitrogen
silicon carbide
パワーデバイス
炭化ケイ素
界面構造
窒素
結晶工学
Language
Japanese
ISSN
2436-7613