학술논문

Evaluation of Mo(1-x)WxS fabricated by combinatorial film deposition / コンビナトリアル成膜手法によって作製したMo(1-x)WxS2混晶の評価
Document Type
Journal Article
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2021, :2875
Subject
18a-Z31-5
Combinatorial film deposition
Magnetron Sputtering
Transition Metal Dichalcogenides
コンビナトリアル成膜
ナノカーボン
マグネトロンスパッタ
基礎物性
層状物質
遷移金属ダイカルコゲナイド
Language
Japanese
ISSN
2436-7613