학술논문

'Review on New Developments of Ultrahigh Vacuum Technology' by Nagamitsu Yoshimura / 吉村長光著「レビュー・超高真空技術の新展開 数式による解析から真空回路・分子流ネットワークへ」
Document Type
Journal Article
Source
Journal of the Vacuum Society of Japan. 2017, 60(10):412
Subject
Language
Japanese
ISSN
1882-2398
1882-4749