학술논문

Vertical Ga2O3 Schottky Barrier Diodes with a Guard Ring Fabricated by Using Nitrogen-Ion Implantation (II) / 窒素イオン注入を用いて作製したガードリング付き縦型Ga2O3ショットキーバリアダイオード (II)
Document Type
Journal Article
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :2922
Subject
12a-M121-1
Ga2O3
field-plated Schottky barrier diode
guard ring
ガードリング
フィールドプレートショットキーバリアダイオード
化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術
半導体
各種材料パワーデバイス
酸化ガリウム
Language
Japanese
ISSN
2436-7613